日本PILLAR风囊泵釆用压缩空气、蒸汽、工业废气为动 力源,对于各种腐蚀性、带颗粒的液体,高粘度、易挥 发、易燃、剧毒的液体,都能起到良好的抽吸作用,具有自吸泵、潜水泵、渣浆泵、离心泵等输送机械的许 多优点。产品主要用于IC的去胶,清洗,腐蚀,抛光,显影等湿法工艺设备中药剂的循环和输送,以及厂务CDS系统中药剂的输送。本产品采用无污染设计和传感器驱动方式,易于维护,使用寿命长。 主要应用: 一、大半导体领域:集成电路(光掩膜版、硅晶圆)、MEMS、平板显示、LED、太阳能等 二、生命科学领域:医疗、生化、食品等 三、核工业领域:核原料提纯、核废料处理等 四、其他:大化工,环保等